ITOガラスはどのように作られるのか

ITOガラスはどのように作られるのでしょうか？

ITO ガラスは通常、物理蒸着 (PVD) として知られるプロセス、具体的にはスパッタリングを通じて製造されます。 ITO ガラスの製造に関わる一般的な手順は次のとおりです。

ガラス基板:ソーダ石灰ガラスやホウケイ酸ガラスなどの高品質のガラス基板から始めます。 基板は清潔で、いかなる汚染物質も含まれていない必要があります。

クリーニング：ガラス基板を徹底的に洗浄して、ITO コーティングの品質に影響を与える可能性のあるほこり、油、または不純物を除去します。 これは通常、化学洗浄、超音波バス、および脱イオン水ですすぐことを組み合わせて行われます。

ガラス基板をロードします。洗浄したガラス基板を真空チャンバーまたはスパッタリング システムに置き、所定の位置にしっかりと保持されていることを確認します。

ターゲットの準備:酸化インジウムスズ (ITO) ターゲットを準備します。これは、酸化インジウムと酸化スズを目的の比率で含む固体材料です。 ターゲットは通常、粉末冶金技術によって作成され、円盤または長方形の形状に成形されます。

スパッタリングプロセス:スパッタリングチャンバー内を減圧環境にし、アルゴンなどの不活性ガスを導入します。 ITO ターゲットに高電圧の電位を印加すると、不活性ガスからのイオンがターゲット表面に衝突します。 この衝突により原子がターゲットから剥がされ、ガラス基板上に堆積します。

膜形成:スパッタリングされた ITO 原子はターゲットから放出されると、真空チャンバーを通って移動し、ガラス基板の表面に堆積します。 堆積プロセスは、ITO 層の所望の厚さが達成されるまで続けられます。 厚さは、堆積時間とスパッタリングパラメータを調整することによって制御できます。

後処理：ITO 層が堆積されると、導電性、ガラス基板への接着性、および全体的な膜品質を向上させるために、アニーリングや加熱などの追加処理が行われる場合があります。

検査と品質管理:最終的な ITO コーティングされたガラスは、均一性、接着性、透明性、導電性が検査されます。 フィルムが要求仕様を満たしていることを確認するために、さまざまなテストが実行される場合があります。

製造プロセスの正確な詳細は、特定の装置、ターゲット組成、および必要な ITO フィルム特性によって異なる場合があります。 ITO ガラスの製造にはスパッタリング技術が一般的に使用されますが、電子ビーム蒸着や化学蒸着 (CVD) などの他の方法も使用できます。

カスタム ITO ガラス ソリューションも利用可能です。 特定の要件については、いつでも KONSHEN Glass にお問い合わせいただくか、図面をお送りください。 KONSHEN Glass はプロのガラス メーカーとして、お客様のニーズに合わせたカスタマイズされた ITO ガラス ソリューションの提供を専門としています。